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Neue Mikrochip-Technik erhält Zukunftspreis

Auszeichnung des Bundespräsidenten geht an ein Team aus dem Südwesten – Ditzinger Laserspezialist Trumpf beteiligt

Die Sieger (von links): Die Entwickler Sergiy Yulin (Fraunhofer IOF), Peter Kürz (Zeiss) und Michael Kösters (Trumpf). Foto: Trumpf
Die Sieger (von links): Die Entwickler Sergiy Yulin (Fraunhofer IOF), Peter Kürz (Zeiss) und Michael Kösters (Trumpf). Foto: Trumpf

Berlin/Ditzingen. Mit dem Deutschen Zukunftspreis des Bundespräsidenten wird in diesem Jahr eine Fertigungstechnik für leistungsfähige Mikrochips gewürdigt, die etwa in Smartphones stecken können. Staatsoberhaupt Frank-Walter Steinmeier verlieh die mit 250000 Euro dotierte Auszeichnung für Technik und Innovation am Mittwochabend in Berlin an ein Team aus Baden-Württemberg und Thüringen. Die Entwickler um Sprecher Peter Kürz kommen von den Unternehmen Zeiss (Oberkochen) und Trumpf (Ditzingen) sowie dem Fraunhofer-Institut für Angewandte Optik und Feinmechanik IOF (Jena).

Kürz und seine Mitstreiter Michael Kösters und Sergiy Yulin hätten einen wesentlichen Beitrag zur Entwicklung der sogenannten EUV-Lithografie geleistet, mit der sich mikroelektronische Bauteile mit äußerst feinen Strukturen fertigen ließen, hieß es. Auch eine niederländische Firma war daran beteiligt. Zu finden sind die Mikrochips laut Kürz in neuesten Smartphones. Bei der Fertigung wird ein bestimmtes ultraviolettes EUV-Licht eingesetzt.

Das Resultat des Gewinnerteams ist eine durch über 2000 Patente abgesicherte Zukunftstechnologie, die Basis für die Digitalisierung unseres Alltags ist und Anwendungen wie Autonomes Fahren, 5G, Künstliche Intelligenz und weitere zukünftige Innovationen ermöglicht. Dank EUV wurden bei Zeiss in Oberkochen und dem Ditzinger Laserspezialisten Trumpf bis heute mehr als 3300 Hochtechnologiearbeitsplätze geschaffen und 2019 ein Jahresumsatz von mehr als einer Milliarde Euro erwirtschaftet – Tendenz steigend.

Weltweit einziger Hersteller für EUV-Lithographie-Maschinen ist die niederländische Firma ASML, die als Integrator die Architektur des Gesamtsystems und insbesondere die EUV-Quelle entworfen hat. Schlüsselkomponenten dieser Maschinen sind der Hochleistungslaser von Trumpf für die EUV-Lichtquelle und das optische System von Zeiss.

EUV steht für „extrem ultraviolett“, also Licht mit extrem kurzer Wellenlänge. Mit dieser konkurrenzlosen Schlüsseltechnologie lassen sich in diesem und dem nächsten Jahrzehnt viel leistungsfähigere, energieeffizientere und kostengünstigere Mikrochips herstellen als jemals zuvor.

Peter Leibinger, Trumpfs Vize-Chef und Chief Technology Officer erklärt dazu: „Wir freuen uns sehr, dass Dr. Michael Kösters, Dr. Peter Kürz und Dr. Sergiy Yulin von Trumpf, Zeiss und dem Fraunhofer IOF den Deutschen Zukunftspreis gewonnen haben. Sie stehen mit ihrem Erfindergeist, Technikverständnis, Durchhaltevermögen und gutem Miteinander beispielhaft dafür, wie sich durch starke Partnerschaften Zukunftstechnologien zur Industriereife entwickeln lassen.“ Die Auszeichnung zeige, dass eine starke Industrie und eine hervorragende Forschungslandschaft eine entscheidende Rolle für die Herausforderungen dieses Jahrhunderts spielen. „Das Mammut-Projekt EUV-Lithografie schafft auch im Coronajahr Arbeitsplätze und sorgt für eine Vorreiterrolle Europas bei der Herstellung modernster Mikrochips,“ so Leibinger.

Auch Markus Weber, Vorstandsmitglied der Zeiss-Gruppe und Leiter der Sparte Semiconductor Manufacturing Technology sowie Fraunhofer-Präsident Professor Reimund Neugebauer gratulierten dem Sieger-Team.

Nominiert für den Zukunftspreis waren zwei weitere Teams für Arbeiten zur Wärmedämmung von Gebäuden und einer Kombination aus Optik und Robotik im OP-Saal. Die Projekte belegten, „welch herausragende Innovationskraft in Deutschland steckt“, erklärte Steinmeier. Er betonte, auch bei der Impfstoffentwicklung in der Coronapandemie seien mehrere deutsche Unternehmen „in der ersten Liga“ vertreten. „Sie lassen uns und die Welt im Kampf gegen die Pandemie hoffen.“

Der Zukunftspreis des Bundespräsidenten wird seit 1997 vergeben. Prämiiert werden hervorragende Innovationen aus den Bereichen Technik, Ingenieurs- und Naturwissenschaften sowie IT. Neben der Innovationsleistung zählt etwa auch das Arbeitsplatzpotenzial. Gefördert wird der Preis von Unternehmen und Stiftungen.

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